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蔡司三坐標測量機測頭校準是測量過程中非常關鍵的一步。測頭校準通常使用標準球進行，雖然紅寶石是常用的三坐標測量機校準球材料，但在接觸掃描測量時，其他材料可能更適合使用。校準球沿著工件表面滑動時，會因摩擦而磨損。在某些情況下，長期接觸可能會導致校準球材料從球上磨損或工件材料附著在校準球上。無論哪種情況，都會影響校準球的圓度。當校準球的某一部分與工件保持頻繁接觸時，圓度誤差會逐漸增大。

掃描測量某些材料表面時，可能會導致磨粒磨損。這些微小顆粒的殘留可能會劃傷三坐標測量機校正球和工件表面，從而在校正球上形成微小的“平面”。對于這類測量，蔡司三坐標測量機校正球是一個不錯的選擇，因為它的硬度更高。粘著磨損通常發生在蔡司三坐標測量機校正球材料與工件材料具有化學親和力的情況下。在用人造紅寶石三坐標測量機校正球掃描測量鋁件時，這種情況比較常見，因為人造紅寶石的主要成分是氧化鋁。從相對較軟的鋁件上轉移至三坐標測量機校正球上的材料可能形成一層“涂層”，從而降低三坐標測量機校正球的圓度精度。在這種情況下，氮化硅三坐標測量機校正球是更好的選擇，因為這種材料具有良好的耐磨性，并且對鋁沒有親和力。